WS固体润滑轴承：面向真空与高温工况的轴承方案
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在半导体与LCD制造设备中，轴承常需要在真空、高温和一定负载条件下运行。WS固体润滑轴承的产品资料显示，其适用压力范围可从常压到高真空，约10-5 Pa；工作温度可达350℃。在高负载条件下，资料给出的寿命对比显示，其使用寿命约为氟碳基聚合物涂层润滑轴承的十倍，适合对润滑稳定性和维护周期有要求的场景。
从结构看，WS轴承的主要部件采用不锈钢材料，并加入烧结金属保持器以改善润滑状态。示意图中，内外圈为马氏体不锈钢，球可采用马氏体不锈钢或陶瓷，保持器为WS2基烧结金属，防尘盖为奥氏体不锈钢，润滑方式为WS2基固体润滑剂。这样的组合使其在高温和负载条件下具备较好的适应性，可服务于高温应用。
资料还给出了运行扭矩寿命和出气质量谱。寿命曲线对比了WS轴承与氟碳基聚合物涂层轴承在不同径向负载比例下的表现；出气质量谱列出H2、H2O、CO、N2、CO2等组分，可为真空环境下的气体释放评估提供参考。产品资料同时列出ISO9001/QS-9000认证信息。
型号命名方面，以SE 6002ZZ ST C4 WS为例：SE代表固体润滑轴承系列，6002为基本轴承号，ST为轴承圈材料代码，C4为内部游隙代码，WS为保持器代码。尺寸表覆盖60系列和62系列的部分型号，并给出内径、外径和宽度等边界尺寸，便于选型时对照设备空间与载荷需求。